Gettering and defect engineering in semiconductor technology : GADEST 2003 ; proceedings of the 10th International Autumn Meeting ["Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology"], Seehotel Zeuthen (suburb of Berlin) State of Brandeburg, Germany September 21-26, 2003

Gettering and defect engineering in semiconductor technology GADEST 2003 ; proceedings of the 10th International Autumn Meeting ["Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology"], Seehotel Zeuthen (suburb of Berlin) State of Brandeburg, Germany September 21-26, 2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: GADEST (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Richter, Hans (HerausgeberIn), Kittler, M. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Uetikon-Zurich Scitec Publ. 2004
Schriftenreihe:Diffusion and defect data / B 95/96
Schlagworte:
Semiconductors > Getters > Silicon crystals > Defects > Electrical engineering > Materials > Konferenzschrift > Gitterbaufehler
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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