Qualifikation des Heißprägens für große Flächen mit nm-Auflösung (Nano-Heißprägen), [Teilvorhaben: Synthetisierung von Heißprägepolymeren] BMBF-Projekt ; Abschlußbericht ; Vorhabensbezeichnung: Entwicklung prägegeeigneter Polymere mit hoher Temperatur- und Ätzbeständigkeit ; Laufzeit des Vorhabens/Berichtszeitraum: 01.12.2000 - 30.04.2003

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Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	micro resist technology GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Fink, Marion (BerichterstatterIn), Pfeiffer, Karl (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin ca. 2003
Schlagworte:	Forschungsbericht > Nanolithografie > Heißprägen
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