Proceedings of the Symposium and Summer School on: Nano and Giga Challenges in Microelectronics Research and Opportunities in Russia Moscow, Russia, September 10 - 13, 2002
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Weitere Verfasser: | , , |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
2003
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Schriftenreihe: | Microelectronic engineering
69.2003, 2/4 |
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