Qualifikation des Heißprägens für große Flächen mit nm-Auflösung (Nano-Heißprägen), Teilvorhaben: Nanoimprint-Lithographie für oxidische Funktionsmaterialien : Abschlußbericht zum BMBF-Vorhaben ; Verbundprojekt ; Laufzeit: 1.3.2001 bis 30.4.2003

Qualifikation des Heißprägens für große Flächen mit nm-Auflösung (Nano-Heißprägen), Teilvorhaben: Nanoimprint-Lithographie für oxidische Funktionsmaterialien Abschlußbericht zum BMBF-Vorhaben ; Verbundprojekt ; Laufzeit: 1.3.2001 bis 30.4.2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Hesse, Dietrich (BerichterstatterIn), Harnagea, Catalin (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Halle (Saale) 2003
Schlagworte:
Forschungsbericht > Nanolithografie > Heißprägen
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N7986. - Literaturverz. S. 50 - 51
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:51 Bl
Ill.,graph.Darst