Erzeugung dreidimensionaler Mikrostrukturen MikroStruk ; Abschlußbericht für das Projekt

Literaturangaben

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	micro resist technology GmbH (BerichterstatterIn), Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (BerichterstatterIn), Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (BerichterstatterIn), STEAG MicroParts GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Herrndorf, Sylvia (BerichterstatterIn), Cullmann, Elmar (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin 2003
Schlagworte:	Forschungsbericht
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