Tagungsband / 11. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie, 09.03. - 12.03.2003, Ilmenau

Der Tagungsband beinhaltet die Kurzfassungen der eingesandten Beiträge

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie (VerfasserIn), Deutsche Gesellschaft für Plasmatechnologie (BerichterstatterIn), Technische Universität Ilmenau Fachgebiet Plasma- und Oberflächentechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Nutsch, Gabriele (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ilmenau ca. 2003
Schlagworte:	Konferenzschrift > Plasmatechnik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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