Rechnerunterstützte Entwurfs- und Verifikationstechniken, Teilprojekt: ANMUEX: Analytische, numerische und experimentelle Beschreibung von Mikrostrukturen Abschlussbericht BMBF-Verbundprojekt REV

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Dötzel, Wolfram (BerichterstatterIn), Mehner, Jan (BerichterstatterIn), Löhr, Karsten (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Fak. f. Elektrotechnik u. Informationstechnik, Professur f. Mikrosystem u. Gerätetechnik, Techn. Univ. ca. 2001
Schlagworte:	Forschungsbericht
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