Prozesse und Equipment für 300mm-Wafer Unterprojekt 3_5: Eco-Management ; Abschlußbericht des Förderprojekts
Bulk distribution systems, 300mm-technology metalfree pumps, partikelmeasurement, cations, process chemicals
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Darmstadt
Merck
ca. 2001
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| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | Bulk distribution systems, 300mm-technology metalfree pumps, partikelmeasurement, cations, process chemicals |
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| Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 01 M 2992 O. - Verbund-Nr. 01011275. - Engl. Zsfassung u.d.T.: Process and equipment for 300mm wafers - process chemicals for 300mm technology |
| Beschreibung: | 25 Bl graph. Darst |