Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen

Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Wank, Andreas (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz TU, Lehrstuhl für Verbundwerkstoffe 2002
Schriftenreihe:Schriftenreihe Werkstoffe und werkstofftechnische Anwendungen 10
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002
Beschreibung:151 S.
Ill., graph. Darst.
21 cm