Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002
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1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Chemnitz
TU, Lehrstuhl für Verbundwerkstoffe
2002
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Schriftenreihe: | Schriftenreihe Werkstoffe und werkstofftechnische Anwendungen
10 |
Schlagworte: | |
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Zusammenfassung: | Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002 |
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Beschreibung: | 151 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |