Microfeed2 Produktstandards und Fertigungsmittel für das Vereinzeln, Ordnen und Magazinieren von Mikrokörpern und Mikrosystemen : industrielles Verbundprojekt zum Förderprogramm Mikrosystemtechnik 1994 - 1999 des Bundesministeriums für Bildung und Wissenschaft, Forschung und Technologie (BMBF)
Literaturverz. Bl. 137
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Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Villingen-Schwenningen
HSG-IMIT
2002
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