Microfeed2 Produktstandards und Fertigungsmittel für das Vereinzeln, Ordnen und Magazinieren von Mikrokörpern und Mikrosystemen : industrielles Verbundprojekt zum Förderprogramm Mikrosystemtechnik 1994 - 1999 des Bundesministeriums für Bildung und Wissenschaft, Forschung und Technologie (BMBF)

Literaturverz. Bl. 137

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Alavi, Mani (VerfasserIn)
Körperschaft: Institut für Mikro- und Informationstechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Scheithauer, Hermann (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Villingen-Schwenningen HSG-IMIT 2002
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