Development of large-area and multilevel nanoimprint lithography and the application in MOSFETs

Princeton, Univ., Ph. D. Thesis, 2001

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Zhang, Wei (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Ann Arbor, Mich.: Proquest Information and Learning 2001
Schlagworte:	Hochschulschrift
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