LTCC-kompatible Sensorschichten und deren Applikation in LTCC-Drucksensoren

Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2002

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Partsch, Uwe (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Templin Detert 2002
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Themenreihe: Elektronik-Technologie in Forschung und Praxis 9
Schlagworte:	Hochschulschrift > Halbleiterdrucksensor > LTCC > Dreidimensionale Integration
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