Plasmaaktivierte Abscheidung harter amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten bei verschiedenen Anregungsfrequenzen

Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Dimer, Martin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 2002
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte VDI Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe 651
Schlagworte:	Hochschulschrift > Kohlenwasserstoffe > PECVD-Verfahren > Dünne Schicht > Amorpher Zustand > Tribologie
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