Mikro-System-Technik Chemnitz '01 Mikromechanik & Mikroelektronik

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Dötzel, W. (BerichterstatterIn), Dötzel, Wolfram (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz Techn. Univ. Chemnitz, Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik 2001
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Beitr. teilw. dt., teilw. engl
Beschreibung:VIII, 267 S
Ill., graph. Darst.
ISBN:3000082018
3-00-008201-8