Proceedings of the 5th Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology and the 13th Symposium on Plasma Science for Materials, Dalian, China, 10 - 13 September, 2000

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (VerfasserIn), Symposium on Plasma Science for Materials (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Tachibana, K. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2001
Schriftenreihe:	Thin solid films 390,1/2
Schlagworte:	Konferenzschrift > Plasmatechnik > Plasmaphysik
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