2000 - 2002 proceedings / Third International Conference on Microelectronics and Interfaces February 11 - 14, 2002, Santa Clara, California

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: International Conference on Microelectronics and Interfaces (VerfasserIn), American Vacuum Society (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, NY AVS 2002
Ausgabe:[Elektronische Ressource]
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