Entwicklung eines mehrfunktionalen Gassensorsubstrates zur Optimierung der Gasselektivität

Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Storm, Uwe (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Logos-Verl. 2001
Schlagworte:	Hochschulschrift > Gassensor > Dünnschichtsensor > Halbleitersubstrat > Selektivität
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