Physikalische Grundlagenuntersuchungen zur Prozeßstabilität und zur Homogenität des Teilchen- und Energiestroms auf das Substrat beim stationären reaktiven Pulssputtern mit dem Doppelringmagnetron

Magdeburg, Univ., Diss., 2000

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bartzsch, Hagen R. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	2000
Schlagworte:	Hochschulschrift > CD-ROM
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