Physikalische Grundlagenuntersuchungen zur Prozeßstabilität und zur Homogenität des Teilchen- und Energiestroms auf das Substrat beim stationären reaktiven Pulssputtern mit dem Doppelringmagnetron
Magdeburg, Univ., Diss., 2000
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| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
2000
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