Integrierte Sensoren mittels additiver Mikrogalvanik - ISAMIG Schlußbericht zum Verbundvorhaben ; Berichtszeitraum: 01.10.96 - 31.12.99

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	STEAG MicroParts GmbH (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dortmund 2000
Ausgabe:	[Elektronische Ressource]
Schlagworte:	Forschungsbericht > Beschleunigungssensor > Mikrosensor > Mikrosystemtechnik
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