Thema: Hochratebeschichtung von Bauteilen und Schaftwerkzeugen mit keramischen Hartstoffschichten, Teilvorhaben: Ermittlung des Betriebsverhaltens unlegierter und legierter Targets sowie der Eigenschaften über einen Langzeitraum unter Hochratebedingungen abgeschiedener Hartstoffschichten TiN, TiCN und TiAIN Abschlußbericht

High rate, arc-evaporate, hard layers, resistance to wear, deposition rate, coating time

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Ebersbach, G. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Schmalkalden Ges. für Fertigungstechnik und Entwicklung u.a. ca. 2000
Schriftenreihe:	Hochratebeschichtung / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
Schlagworte:	Forschungsbericht > Hartstoff > Beschichtung > Lichtbogen > Oberflächeneigenschaft > Verschleißfestigkeit
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