Thema: Hochratebeschichtung von Bauteilen und Schaftwerkzeugen mit keramischen Hartstoffschichten, Teilvorhaben: Ermittlung des Betriebsverhaltens unlegierter und legierter Targets sowie der Eigenschaften über einen Langzeitraum unter Hochratebedingungen abgeschiedener Hartstoffschichten TiN, TiCN und TiAIN Abschlußbericht
High rate, arc-evaporate, hard layers, resistance to wear, deposition rate, coating time
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Schmalkalden
Ges. für Fertigungstechnik und Entwicklung u.a.
ca. 2000
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| Schriftenreihe: | Hochratebeschichtung / Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie
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| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | High rate, arc-evaporate, hard layers, resistance to wear, deposition rate, coating time |
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| Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13 N 6851/0. - Engl. Zsfass. u.d.T.: Investigation of performance of alloyed and unalloyed targets as well as properties of TiN-, TiCN- and TiAlN-layers, deposited under high rate conditions for extended duration |
| Beschreibung: | 44 Bl Ill., graph. Darst |