High Purity Silicon VI proceedings of the Sixth International Symposium [held in Phoenix, Arizona at the 198th Meeting of the Electrochemical Society, October 22 - 27, 2000]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Pennington, NJ u.a.
Electrochemical Society u.a.
2000
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Schriftenreihe: | ECS PV
2000,17 SPIE 4218 |
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Beschreibung: | XIX, 696 S Ill., graph. Darst 23 cm |
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ISBN: | 1566772842 1-56677-284-2 0819438901 0-8194-3890-1 |