High Purity Silicon VI proceedings of the Sixth International Symposium [held in Phoenix, Arizona at the 198th Meeting of the Electrochemical Society, October 22 - 27, 2000]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Electrochemical Society Electronics Division (BerichterstatterIn), Symposium on High Purity Silicon (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Claeys, C. L. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ u.a. Electrochemical Society u.a. 2000
Schriftenreihe:ECS PV 2000,17
SPIE 4218
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Beschreibung
Beschreibung:XIX, 696 S
Ill., graph. Darst
23 cm
ISBN:1566772842
1-56677-284-2
0819438901
0-8194-3890-1