Abschlussbericht zum BMBF-Projekt "Prozesse und Equipment für 300-mm-Wafer", Unterprojekt: 1.3 Materialfluß/Logistik: "Los-Identifikations- und Lagersystem (LILA)" und Unterprojekt: 1.5 FOUP-Management: "Front opening unified pod mit hoher Präzision, Lebensdauer und Stabilität (FOUP PLUS)" : Berichtszeitraum: 1. April 1998 bis 30. September 2000

Abschlussbericht zum BMBF-Projekt "Prozesse und Equipment für 300-mm-Wafer", Unterprojekt: 1.3 Materialfluß/Logistik: "Los-Identifikations- und Lagersystem (LILA)" und Unterprojekt: 1.5 FOUP-Management: "Front opening unified pod mit hoher Präzision, Lebensdauer und Stabilität (FOUP PLUS)" Berichtszeitraum: 1. April 1998 bis 30. September 2000

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Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Automation in Cleanroom GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Gentischer, Josef (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Niedereschach ACR 2000
Schlagworte:
Forschungsbericht > Wafer
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