Micro system technologies 2001 International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Düsseldorf, March 27 - 29, 2001

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Messe Düsseldorf GmbH (BerichterstatterIn), International Conference and Exhibition on Micro-Electro-, -Opto-, -Mechanical Systems and Components (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Reichl, Herbert (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin, Offenbach VDE-Verl. 2001
Schlagworte:	Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Titel	Jahr	Verfasser
Mechatronic drive systems with integrated microsystem technology components	2001	Zöppig, Veit
Chemical resistance of thin plasma polymerized fluorocarbon films in inorganic etching solutions used in microstructure technology	2001	Yanev, Vasil