Die Schmelzenströmung im Si-Czochralski-Prozeß unter dem Einfluß elektromagnetischer Felder

Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2000

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Wetzel, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 2001
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte VDI Reihe 9, Elektronik/Mikro- und Nanotechnik 328
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Einkristall > Czochralski-Verfahren > Schmelze > Strömung > Elektromagnetisches Feld
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