Verbundprojekt: Untersuchung der Möglichkeiten zur Züchtung von SiC-Einkristallen und zur Bereitstellung von Wafern aus SiC : Teilvorhaben: Aufbau der Anlagenbasis, Kristallzüchtung und Bereitstellung von SiC-Wafern ; Abschlußbericht für die Projektlaufzeit vom 01.04.96 - 30.06.00

Verbundprojekt: Untersuchung der Möglichkeiten zur Züchtung von SiC-Einkristallen und zur Bereitstellung von Wafern aus SiC Teilvorhaben: Aufbau der Anlagenbasis, Kristallzüchtung und Bereitstellung von SiC-Wafern ; Abschlußbericht für die Projektlaufzeit vom 01.04.96 - 30.06.00

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Institut für Kristallzüchtung (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Siche, D. (BerichterstatterIn), Rost (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin 2000
Schlagworte:
Forschungsbericht > Wafer > Kristallzüchtung
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