Integrierte Sensoren mittels additiver Mikro-Galvanik-Verfahren ISAMIG ; Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 01.10.1996 - 31.12.1999

Micromachined angular rate sensors, control, dynamic analysis

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Universität Bremen Institut für Automatisierungstechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Gräser, Axel (BerichterstatterIn), Lange-Mao, Wei (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Bremen 2000
Schlagworte:	Forschungsbericht > Beschleunigungssensor > Mikrosensor > Mikrosystemtechnik
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