Micro- and nano-engineering 99 proceedings of the 25th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 21 - 23, 1999, Rome, Italy

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Conference on Micro- and Nano-Engineering (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Gentili, Massimo (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2000
Schriftenreihe:	Microelectronic engineering 53,1/4
Schlagworte:	Konferenzschrift
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