Entwicklung eines optischen Partikelzählers mit nicht abbildenden Optiken zur Kontaminationsüberwachung in Reinstgasleitungen

Entwicklung eines optischen Partikelzählers mit nicht abbildenden Optiken zur Kontaminationsüberwachung in Reinstgasleitungen

Zugl.: Duisburg, Univ.-Gesamthochsch., Diss., 1999

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Luo, Jun (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Düsseldorf VDI-Verl. 2000
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Fortschritt-Berichte VDI Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik 832
Schlagworte:
Hochschulschrift > Halbleitertechnologie > Reinraumtechnik > Gasversorgung > Reinststoff > Kontamination > Teilchenmesstechnik > Optische Messung > Streulicht > Prozessüberwachung
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Duisburg, Univ.-Gesamthochsch., Diss., 1999
Literaturverz. S. 117 - 120
Beschreibung:XI, 120 S
Ill., graph. Darst
ISBN:3183832089
3-18-383208-9