Theorie und Fabrikation von Subwellenlängenstrukturen am Beispiel polarisierender Metallstreifengitter

Jena, Univ., Diss., 2000

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schnabel, Bernd (VerfasserIn)
Körperschaft: Friedrich-Schiller-Universität Jena (Grad-verleihende Institution)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Jena 2000
Schlagworte:
Hochschulschrift > Mikrooptik > Beugungsgitter > Lithografie > Elektronenstrahllithografie > Polarisator
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