Integriert-optisches Mikrospektrometersystem

Zugl.: Hamburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1999

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Sander, Dietmar (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Müller, Jörg (BerichterstatterIn), Brinkmeyer, Ernst (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI Verl. 1999
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte VDI Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik 790
Schlagworte:	Hochschulschrift > Spektrometer > Integriert-optisches Bauelement > Mikrosystemtechnik > Siliciumoxinitride > Dünne Schicht > Lichtwellenleiter
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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