1999 International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems MSM 99 ; an interdisciplinary integrative forum on modeling, simulation and scientific computing in the microelectronic, semiconductor, sensors, materials and biotechnology fields ; April 19 - 21, 1999, San Juan, Puerto Rico, USA

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems (VerfasserIn), IEEE Electron Devices Society (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cambridge, Mass. u.a. Computational Publ. 1999
Schlagworte:	Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Simulation
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