Advanced interconnects and contact materials and processes for future integrated circuits : symposium held April 13 - 16, 1998, San Francisco, California, U.S.A.

Advanced interconnects and contact materials and processes for future integrated circuits symposium held April 13 - 16, 1998, San Francisco, California, U.S.A.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Murarka, Shyam P. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Warrendale, Pa. Materials Research Society 1998
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 514
Schlagworte:
Electronic packaging > Materials > Integrated circuits > Semiconductors > Congresses > Konferenzschrift > Hochschulschrift > Integrierte Schaltung > Werkstoff > Halbleiter
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and indexes
Beschreibung:XVI, 560 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:1558994203
1-55899-420-3