Radio frequency power in plasmas : 12th topical conference ; Savannah, Ga. April 1997

Radio frequency power in plasmas 12th topical conference ; Savannah, Ga. April 1997

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Ryan, Philip M. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Woodbury, N.Y. American Institute of Physics 1997
Schriftenreihe:AIP conference proceedings 403
Schlagworte:
Radio frequency > Plasma (Ionized gases) > Konferenzschrift
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