Vergleichende Untersuchungen zur meßtechnischen Leistungsfähigkeit von Laserinterferometern und inkrementellen Maßstabmeßsystemen

Zugl.: Aachen, Rheinisch-Westfäl. TH, Diss

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Flügge, Jens (VerfasserIn)
Körperschaft: Physikalisch-Technische Bundesanstalt Abteilung Fertigungsmesstechnik (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. 1996
Schriftenreihe:PTB-Bericht Fertigungsmeßtechnik
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