Principles of plasma discharges and materials processing

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Lieberman, Michael A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lichtenberg, Allan J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY u.a. Wiley 1994
Schriftenreihe:	A Wiley-Interscience publication
Schlagworte:	Plasma dynamics > Thin films > Surfaces > Plasma etching > Plasma chemistry > Plasmadynamik > Plasmachemie > Plasmaätzen > Dünnschichttechnik > Plasmastrahlbearbeitung
Online Zugang:	Table of Contents Publisher description Contributor biographical information
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Beschreibung
Beschreibung:	Includes bibliographical references (S. 559 - 564) and index
Beschreibung:	XXVI, 572 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	0471005770 0-471-00577-0