The physics of submicron lithography

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Valiev, Kamilʹ A. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY u.a. Plenum Press 1992
Schriftenreihe:	Microdevices
Schlagworte:	Microlithography > Lithography, Electron beam > X-ray lithography > Ion beam lithography > Physics > Elektronenstrahllithografie > Röntgenlithografie > Lithografie > Nanostruktur
Online Zugang:	Verlagsangaben Inhaltsverzeichnis
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