Polymers for microelectronics science and technology ; proceedings of the International Symposium on "Polymers for Microelectronics - Science and Technology -" (PME '89), Tokyo, Japan, October 29 to November 2, 1989
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Weitere Verfasser: | , |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Weinheim
VCH
1990
New York VCH u.a. 1990 Cambridge Basel Weinheim u.a. |
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Beschreibung: | Includes bibliographical references and index |
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Beschreibung: | XXI, 848 S zahlr. Ill., graph. Darst |
ISBN: | 4062048663 4-06-204866-3 0895739879 0-89573-987-9 3527281681 3-527-28168-1 |