Polymers for microelectronics science and technology ; proceedings of the International Symposium on "Polymers for Microelectronics - Science and Technology -" (PME '89), Tokyo, Japan, October 29 to November 2, 1989

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Polymers for Microelectronics - Science and Technology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Tabata, Yoneho (HerausgeberIn), Mita, Itaru (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Weinheim VCH 1990
New York VCH u.a. 1990
Cambridge
Basel
Weinheim u.a.
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