Radio frequency power in plasmas eighth topical conference, Irvine, CA, 1989

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	MacWilliams, Roger (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York American Inst. of Physics 1989
Schriftenreihe:	AIP conference proceedings 190
Schlagworte:	Konferenzschrift
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