Eigenschaften von keramischen Hartstoffschichten auf Silizium- und Aluminiumbasis

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1989

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Löffler, Frank (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1990
Schriftenreihe:	Fortschrittberichte VDI Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe 180
Schlagworte:	Hochschulschrift > Hartstoff > Magnetronsputtern
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