Struktureigenschaften von wasserstoffhaltigen Silicium-Kohlenstoff-Legierungen dargestellt mit der Wasserstoffabstraktionsmethode

Frankfurt (Main), Univ., Diss., 1998

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Campo, Jose Manuel Dieguez (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1998
Schlagworte:	Hochschulschrift > Siliciumcarbid > Wasserstoff > Dünne Schicht
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