Nd:YAG-Laserstrukturierung in der Silizium-Mikromechanik

Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1999

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Dauer, Stefan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 1999
Schriftenreihe:	Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik 3
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Wafer > Laserablation > Neodym-YAG-Laser > Fokussierung > Gold > Dünne Schicht
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