FPS51B a small piezo-resistive silicon pressure sensor for use in superfluid helium

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Haruyama, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Kimura, N. (VerfasserIn), Nakamoto, T. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Tsukuba High Energy Accelerator Research Organization (KEK) 1998
Schriftenreihe:KEK Preprint 98-113
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Beschreibung
Beschreibung:Presented at the 17th International Cryogenic Engineering Conference, ICEC17, Bournemouth, UK, 14 - 17 July, 1998
Beschreibung:4 S
graph. Darst