Microprocesses and nanotechnology

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Microprocesses and Nanotechnology Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Aoyagi, Yoshinobu (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Tokyo Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics 1998
Schriftenreihe:Japanese Journal of Applied Physics Pt. 1 37.1998,12B = 490
Schlagworte:
Konferenzschrift > Nanotechnologie > Mikromechanik
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