MFV-Mikrosysteme Verbundvorhaben zur "Entwicklung und Erprobung von fertigungsgerechten Montage- und Fügeverfahren zum Aufbau von Mikrosystemen ; Abschlußbericht, 1995 - 1997 ; Industrielles Verbundprojekt zum Förderprogramm "Mikrosystemtechnik 1994 - 1999" des Bundesministeriums für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie (BMBF)

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Jenoptik Automatisierungstechnik GmbH (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Jena ca.1998
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