Monolithisch integriertes Silizium-Mikrodosiersystem mit thermomechanischem Mikroventil und kalorimetrischem Massenflußsensor

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1998

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Franz, Jochen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 1999
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Berichte aus dem Maschinenbau
Schlagworte:	Hochschulschrift > Wässrige Lösung > Dosiereinrichtung > Mikroventil > Durchflusssensor > Massendurchfluss > Kalorimetrie > Mikrosystemtechnik > Wafer > Silicium > Kontaktieren > Integration
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