Herstellung, Struktur und Eigenschaften von CNx-Schichten Projektlaufzeit: 01.08.1995 - 31.12.1997 ; Abschlußbericht zum BMBF-Verbundprojekt

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Bewilogua, Klaus (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Braunschweig IST 1998
Schlagworte:	Forschungsbericht > Kohlenstoffnitride > Dünne Schicht > Technologie > Stoffeigenschaft
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