Multilayer-Substrate aus glaskeramischen Folien mit einer Funktionsebene in Dünnfilmtechnik Teilprojekt: Werkstoffwissenschaftliche und technologische Grundlagen für Dünnfilmverdrahtungsstrukturen und Funktionsschichten auf glaskeramischen LTCC-Multilayersubstraten ; Abschlußbericht
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Hermsdorf
Siegert TFT GmbH
ca.1998
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